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发布于2023-04-11为什么微波等离子体CVD沉积金刚石,这种方法被业内公认为最理想的沉积金刚石的方法?今天,和瑞MPCVD就带你来了解一下浏览量872023-04-11和瑞微波
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发布于2023-03-10近几十年来MPCVD多晶金刚石膜作为热沉应用于半导体器件领域的研究从未间断,目前英寸级Si基多晶金刚石膜应用于HEMTs器件中,器件的RF功率密度得到有效提高,达到23W/mm以上。当前,制备出的热沉···浏览量902023-03-10和瑞微波
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发布于2022-12-12近年来,我国CVD金刚石行业加大资金投入,并在MPCVD领域取得了较大进展,CVD金刚石产量得到迅速增长。MPCVD装置最核心的是微波系统,其中微波谐振腔较为关键浏览量1292022-12-12和瑞微波
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发布于2022-04-06相对于其他方法,MPCVD法优势如下 :1) 反应器的简单、灵活和商业可用浏览量962022-04-06和瑞微波
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发布于2021-09-09CVD金刚石的一个重要性质是它具有极高的热导率。在室温条件下,金刚石的热导率是铜的五倍。同时,它本身又是极好的绝缘材料。和瑞MPCVD系统可以满足高品质单晶金刚石、多晶金刚石的批量生长。浏览量1322021-09-09和瑞微波
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发布于2021-06-09MPCVD设备结构基本组成包括控制单元、微波单元、水冷单元、真空单元等。通过真空单元将腔体抽真空,保证金刚石生长所需低真空状态浏览量1052021-06-09和瑞微波