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发布于2023-10-20为什么微波等离子体cvd法被认为是最理想的沉积金刚石的方法呢？MPCVD法制备金刚石具有许多优点，如反应过程中无电极，不会发生HFCVD 法中因金属丝蒸发、游离到沉积的金刚石表面，而产生污染的问题浏览量6972023-10-20和瑞微波 -
发布于2023-05-11随着按照制备金刚石产业的火爆，MPCVD金刚石材料生长技术已经越来越被熟知，那么有人就要问了，MPCVD需要多大的微波功率呢？浏览量4182023-05-11和瑞微波 -
发布于2023-04-11为什么微波等离子体CVD沉积金刚石，这种方法被业内公认为最理想的沉积金刚石的方法？今天，和瑞MPCVD就带你来了解一下浏览量4192023-04-11和瑞微波 -
发布于2023-03-10近几十年来MPCVD多晶金刚石膜作为热沉应用于半导体器件领域的研究从未间断，目前英寸级Si基多晶金刚石膜应用于HEMTs器件中，器件的RF功率密度得到有效提高，达到23W/mm以上。当前，制备出的热沉···浏览量4642023-03-10和瑞微波 -
发布于2022-12-12近年来，我国CVD金刚石行业加大资金投入，并在MPCVD领域取得了较大进展，CVD金刚石产量得到迅速增长。MPCVD装置最核心的是微波系统，其中微波谐振腔较为关键浏览量4382022-12-12和瑞微波
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发布于2022-04-06相对于其他方法，MPCVD法优势如下 ：１） 反应器的简单、灵活和商业可用浏览量4062022-04-06和瑞微波 -
发布于2021-09-09CVD金刚石的一个重要性质是它具有极高的热导率。在室温条件下，金刚石的热导率是铜的五倍。同时，它本身又是极好的绝缘材料。和瑞MPCVD系统可以满足高品质单晶金刚石、多晶金刚石的批量生长。浏览量3952021-09-09和瑞微波 -
发布于2021-06-09MPCVD设备结构基本组成包括控制单元、微波单元、水冷单元、真空单元等。通过真空单元将腔体抽真空，保证金刚石生长所需低真空状态浏览量3622021-06-09和瑞微波
