产品概述
HMPS-2060SP微波等离子体(CVD)系统
成都纽曼和瑞微波技术有限公司是专业从事微波能、微波等离子体应用技术研发及其设备生产、具有自主知识产权的高新技术企业。公司静心钻研微波等离子体MPCVD系统已有22年的经验，目前为国内外客户提供了上百台MPCVD设备，凭借产品优异的性能和高质量的服务，公司获得用户广泛认可和好评。
HMPS-2060SP微波等离子体MPCVD系统沉积速率快、沉积质量高、沉积面积超过60mm。适合高品质单晶金刚石、多晶金刚石的批量生长及多种薄膜的CVD制备、材料表面处理和改性、低温氧化物的生长等。
性能特点
◆独立开发，自主知识产权。
◆进口高精度MFC，高可靠稳定压力控制系统。
◆第三代高稳定固态功率源；上馈式圆柱型放电腔；
◆多重调节，样品台及腔板程控升降。
◆性能先进，安全、可靠性强、重现性好，操作简便。
◆多参数实时监测、采集与记录，PLC屏幕控制，多重联锁保护。
技术指标
| （1） | 型号 | HMPS-2060SP |
| （2） | 电源 | AC380±10% V 三相五线制 50Hz，额定输入＜18KVA |
| （3） | 微波输出功率 | 0.5~6kW 连续可调 |
| （4） | 功率稳定度 | 1%（@稳态） |
| （5） | 纹波 | ≤1% |
| （6） | 微波频率 | 2450MHz±50MHz |
| （7） | 测温方式 | 红外300~1400℃或600-1800℃双色 |
| （8） | 极限真空度 | 6×10-6torr |
| （9） | 腔体内工作压力 | 5torr~226torr，±0.1torr |
| （10） | 样品台 | Φ60mm |
| （11） | 样品台轴向调节范围 | 0-60mm |
| （12） | 工作气氛 | 五路（可用户定制） |
| （13） | 微波泄漏值 | ＜5mW/cm2 |
| （14） | 工作环境 | 温度15-40℃，相对湿度≤60%，无腐蚀性气体 |
| （15） | 冷却水 | ＞37L/Min |
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