产品概述
HMPS-2100SP微波等离子体CVD设备
成都纽曼和瑞微波技术有限公司是专业从事微波能、微波等离子体应用技术研发及其设备生产、具有自主知识产权的高新技术企业。公司近年已为中科院、中物院、吉林大学、南京大学、四川大学等、宁波晶钻公司、北京沃尔德公司等科研院所、知名企业以及国外客户提供了上百台MPCVD设备，凭借产品优异的性能和高质量的服务，公司获得用户广泛认可和好评。
性能特点
微波功率容量大、功率密度高，自主研发，专利产品
◆沉积面积大、速率快、质量高；
◆安全可靠，满足单晶、多晶金刚石产业化生产运行；
◆高稳定、高可靠性固态功率源；
◆微波功率0.5~10kW连续可调，稳定度1%；
◆放电区Φ≥80mm；均匀沉积区Φ≥3inch；
◆工作气体：H2/CH4/N2/CO2或O2或Ar；可扩展
◆进口高精度MFC，高可靠稳定压力控制系统
◆多重安全联锁，多重调节，样品台程控升降/旋转
◆多重权限分级管理；
◆PLC和15寸触摸屏多参数自动控制。
技术指标
| （1） | 型号 | HMPS-2100SP |
| （2） | 电源 | AC380±10% V 三相五线制 50Hz，额定输入＜25KVA |
| （3） | 微波输出功率 | 0.5~10kW 连续可调 |
| （4） | 功率稳定度 | ≤±1%（@满功率） |
| （5） | 纹波 | ≤1% |
| （6） | 微波频率 | 2450MHz±50MHz |
| （7） | 测温方式 | 红外300~1400℃单色或600-1800℃双色，控制精度±5℃ |
| （8） | 极限真空度 | 3.7×10-3torr或6×10-6torr |
| （9） | 腔体内工作压力 | 5torr~226torr |
| （10） | 自动气压控制 | 0.1torr |
| （11） | 等离子放电区域 | Φ≥100mm |
| （12） | 均匀沉积区域 | Φ≥80mm |
| （13） | 工作气氛 | 五路（可用户定制） |
| （14） | 微波泄漏值 | ＜5mW/cm2 |
| （15） | 工作环境 | 温度15~40℃，相对湿度≤60%，无腐蚀性气体 |
| （16） | 冷却水 | ＞46L/Min |
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