和瑞微波成功研制10X1.0KW/2450MHz星型大容积微波等离子体CVD系统
发布于2006-11-12 09:52:36
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2006年,我司为武汉工程大学材料研究学院成功研制10X1.0KW/2450MHz星型大容积微波等离子体CVD系统。
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