MPCVD技术制备大尺寸单晶金刚石，可行！

什么是大尺寸MPCVD单晶金刚石？

大尺寸MPCVD单晶金刚石，是指采用微波等离子体化学气相沉积法（MPCVD）制备得到的大尺寸、高质量单晶金刚石。

单晶金刚石不仅具备多晶金刚石优异的物理化学性能，还具有优异的光学透过性、电子空穴迁移率、禁带宽度、击穿电压等特性，在半导体、微电子、光学器件等领域展现出显著的应用优势。

在工业领域，单晶金刚石的制备工艺主要包括高压高温法（HPHT）和化学气相沉积法（CVD）两种。HPHT法制得的单晶金刚石尺寸较小、品质相对有限；而CVD法可实现大尺寸产品的制备，其中MPCVD法因其无电极污染、等离子体密度高、工艺可控性强等特点，成为制备高纯净度、大尺寸单晶金刚石的主流技术路径。

根据新思界产业研究中心发布的《2025-2030年中国大尺寸MPCVD单晶金刚石行业市场深度调研及发展前景预测报告》，我国是全球最大的金刚石生产国，但采用MPCVD技术制备大尺寸单晶金刚石的企业数量仍较少。大尺寸MPCVD单晶金刚石可作为高精度探测器用高导热、高透光的光学窗口材料，应用前景广阔。2024年，工信部发布的国家重点研发计划“高性能制造技术与重大装备”等16个重点专项2024年度项目申报指南中，在特种及前沿功能材料方向，已将“大尺寸MPCVD单晶金刚石光热功能材料高效制备及示范应用”列入支持范围。

和瑞微波推出大尺寸单晶金刚石生长能力的MPCVD设备系列

和瑞915MHz/75kw-MPCVD设备，支持6英寸以上单晶金刚石、多晶金刚石生长。

作为专业的MPCVD设备厂家，和瑞微波（hueray microwave）凭借在微波等离子体领域的深厚技术积累，已成功推出具备大尺寸单晶金刚石生长能力的MPCVD设备系列。公司自主研发的MPCVD设备可支持2-12英寸衬底上的高质量单晶金刚石沉积，具备高功率微波输出、优异的等离子体均匀性及稳定的工艺控制能力，为高端光学窗口材料、半导体衬底及热管理应用提供了可靠的产业化解决方案。

随着大尺寸单晶金刚石在光电、功率器件等领域的应用不断拓展，和瑞微波正持续推动设备技术与生长工艺的协同创新，助力我国在高端金刚石材料制备领域实现自主可控。