MPCVD法相比其他等离子cvd法有什么优势？

等离子体协助ＣＶＤ有三种类型 ：

１ ） 微波等离子体ＣＶＤ（ＭＰＣＶＤ，微波激发频率通常为２．４５ＧＨｚ）；

２ ）ＲＦ等离子体ＣＶＤ（通常激发频率是１３．５６ＭＨｚ）；

３ ）直流等离子体ＣＶＤ。

下面主要来和瑞微波主要来讲解一下MPCVD 法，纽曼和瑞主要是生产使用ＭＰＣＶＤ生长金刚石薄膜设备。

相对于其他方法，MPCVD法优势如下 ：

１） 反应器的简单、灵活和商业可用 ；

２ ） 微波非等温等离子体的稳定性和可重复性，允许连续沉积数十小时或数百小时，并且样品质量可重现；

３ ） 高能量效率（高等离子体密度和低鞘电势），确保合理的成本；

４ ） 具备生长大尺寸金刚石薄膜能力 ；

５ ）与其他ＣＶＤ技术（例 如２０００°Ｃ 的 ＨＦＣＶＤ）相比，沉积温度相对较低，因此外延层和衬底之间的热失配和所产生的应力较小 。