喜讯|热烈祝贺纽曼和瑞微波获得新发明专利证书
发布于2024-04-09 11:05:25
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近日，成都纽曼和瑞微波技术有限公司申请的发明专利“一种微波等离子体化学气相沉积设备”（专利号：ZL 2022 1 0065678.2） 成功获得国家知识产权局授权。发明专利的获得是纽曼和瑞长期以来立足核心产品持续研发的阶段性成果，是公司倡导技术创新和技术革新的有效实践，也是公司研发人员心血凝聚的结晶。在提升了公司的核心竞争力的同时，对公司的持续发展、技术创新以及品牌树立方面都有着重要的促进作用。
本发明提供了一种微波等离子体化学气相沉积设备，属于微波等离子体领域。上述沉积设备包括微波源、微波传输装置及放电腔组件，微波源通过微波传输装置与放电腔组件连接。放电腔组件包括放电腔以及观察筒，观察筒与放电腔的外壁连接，并与放电腔的内腔连通；观察筒的内壁上设置有至少一个环形凹槽或者环形凸起。由于在观察筒的内壁上设置了环形凹槽或环形凸起；其使得观察筒内的电子湮灭，从而减少了电子对石英玻璃的损伤，进而提高了石英玻璃的使用寿命。上述微波等离子体化学气相沉积设备，其采用了上述放电腔组件后，由于观察筒上的石英玻璃的寿命显著提高，因而使得设备的整体寿命显著提高。
截止目前为止，公司累计拥有专利50项，其中发明专利7项。
成都纽曼和瑞微波技术二十年来潜心研究，经历了无数的风雨。一路走来，我们不断提升技术实力，不断在技术创新的道路上前行，踔厉奋发，惟实励新，打造了以专利为基石的深厚底蕴。
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