纽曼和瑞915MHz大尺寸高功率金刚石生长系统：专家认可之路

        近日，成都纽曼和瑞在公司组织召开微波等离子体CVD系统产品鉴定评审会，特邀请业内知名人士作为本次鉴定评审会的评审专家，专家组成员主要来自中国科学技术大学、宁波材料所、四川大学、电子科技大学。

        评审会上，公司领导李总及季总对评审专家组的到来表示了热烈欢迎及诚挚的感谢，并就成都纽曼和瑞关于“高功率微波等离子体CVD系统”的研发背景、关键技术及创新点、产品技术的国内外对比、成果产业化及推广应用等情况向评审专家组进行了详细的介绍。会后，评审专家组对成都纽曼和瑞微波等离子体CVD系统生产现场也进行了考察。

       经过微波等离子体CVD系统现场测试，鉴定评审会专家一致认为：成都纽曼和瑞“大功率微波等离子体CVD系统”符合产品标准和要求，同意通过产品评审并给予了高度认可。

       反应腔精密设计与仿真

       专家表示，反应腔室是金刚石生长装置的核心部件之一，作为大尺寸、高功率功能性金刚石生长系统，成都纽曼和瑞大功率微波等离子体CVD系统在反应腔室设计上进行了创新，其采用新一代大容积下馈式大型环形工作腔，可承载超大容量的微波功率，TM02微波放电模式，优化等离子体的分布，使得晶体生长更加均匀，金刚石有效沉积区域最大可达12英寸；极低真空漏率，半导体级别，氦质谱真空漏率≤1×10-10Pa·m3/s，可满足高品质金刚石材料的制备。

成都纽曼和瑞微波等离子体CVD系统

       功率运行的高效稳定性

       在高功率运行时，设备的稳定性是衡量其性能的重要指标。

       成都纽曼和瑞大功率微波等离子体CVD系统采用沃特塞恩电子核心产品固态微波功率源作为微波能量源，功率75kW，频率915MHz，相比传统的磁控管微波源，固态功率源的功率输出稳定性更高、安全性更强。

       而在金刚石生长过程中，不同的生长阶段需要不同的功率来维持等离子体的稳定，基于固态微波功率源的微波等离子体CVD系统（MPCVD）可以精确地根据生长需求调整功率，确保等离子体的能量密度始终处于最佳状态。这意味着在相同的能量输入下，成都纽曼和瑞微波等离子体CVD系统能够产生更多的有效能量用于金刚石生长。

       该设备控制精度高，支持自动/手动模式，可实现自动控温/控压、一键自动化工艺过程配方驱动；过温、过流、超压等故障报警定位，多重安全连锁保护。

       专家认为这种高功率运行的高效稳定性是成都纽曼和瑞微波等离子体CVD系统的一大优势，能够满足大规模、高效率稳定生产大尺寸功能性金刚石材料的需求。

       满足高端应用需求

       随着科技的发展，高端领域对大尺寸、高质量金刚石的需求日益增长。

       成都纽曼和瑞大功率微波等离子体CVD系统生长出的金刚石能够很好地满足这些需求，该设备适用于6英寸及以上纳米晶和超细纳米晶金刚石、光学级金刚石窗口、CVD单晶金刚石热沉片的制备。

       在电子领域，大尺寸金刚石可作为高性能的散热材料，用于解决高功率电子器件的散热问题。纽曼和瑞的微波等离子体CVD系统生长出的金刚石具有高的热导率，经测试可达2000W/m·K，比传统的散热材料高出数倍；在超硬材料领域，大尺寸金刚石刀具可用于加工大型的、高硬度的航空航天零部件，纽曼和瑞的微波等离子体CVD系统为生产这种高质量的大尺寸金刚石刀具提供了可能，从而提高了加工效率和精度，降低了加工成本。专家认为，成都纽曼和瑞915MHz/75kW大功率微波等离子体CVD系统与高端应用需求的高度契合，将有助于推动相关行业的技术进步。

        此次评审，成都纽曼和瑞915MHz/75kW大功率微波等离子体CVD系统凭借其技术创新亮点、卓越的性能与质量表现以及与行业需求的高度契合度，获得专家的认可。这不仅为和瑞MPCVD系统的推广和应用奠定了坚实的基础，也为大尺寸高功率金刚石在更多领域的发展提供了有力的支持，有望在未来的科技和工业发展中发挥更加重要的作用。